《表1 小周期圆柱形微纳结构设计参数组合表》

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《利用小周期蛾眼结构提高红外材料抗反射特性的研究》

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为使小周期圆柱形结构具有尽量宽的抗反增透光谱范围，同时得到低R和高T的效果，由上述仿真分析可知，选择高占空比和较小刻蚀深度的搭配组合更为合理。因此，表1总结了小周期圆柱形微纳结构的设计参数及公差范围组合。