《表2 微纳测头结构参数》
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微纳测头的材料属性和结构参数如表1和表2所示，其中，支撑梁选用铍青铜，测杆选用碳化钨，测球选用红宝石[18]。
| 图表编号 | XD0019446900 严禁用于非法目的 |
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| 绘制时间 | 2018.12.28 |
| 作者 | 吴耀东、李保坤、韩迎鸽、刘向阳、刘坤 |
| 绘制单位 | 安徽理工大学机械工程学院、安徽理工大学机械工程学院、安徽理工大学机械工程博士后科研流动站、广西省制造系统与先进制造技术重点实验室、安徽理工大学电气与信息工程学院、安徽理工大学机械工程学院、安徽理工大学机械工程学院 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
