《表3 微纳测头刚度参数理论值和仿真值的比较》

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《新型微纳测头刚度模型及变刚度特性分析》

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由图10可知，微纳测头刚度随着压电驱动力的增加而减小，当压电驱动力的范围为0≤p≤pcrz时，压电驱动力p与测头刚度K呈线性关系。仿真表明，当p≥pcrz时，支撑梁在任意微小扰动下发生弯曲失稳，此时微纳测头不具有测量稳定性，说明压电驱动力p必须小于屈曲临界载荷pcrz。通过式（8）、（29）计算得到pcrz、piso，并将piso代入式（7）可得Kiso，所得计算结果与有限元仿真结果如表3所示。