《表1 微纳旋转平台关键参数》
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本文采用MEMS技术[15]，实现微纳旋转平台的角度控制，结构如图3(a）所示，采用纯硅制造，包含固定基底、转轴、载物平台、静电驱动梳齿和电极.当电极通电后，静电驱动梳齿会产生驱动力带动载物平台绕转轴进行转动.微纳旋转平台的关键参数如表1所示，其中A为器件的长度、B为器件的宽度、D为载台大小、L为转轴长度、w为转轴宽、h为厚度、c梳齿长度、d为梳齿宽度、N为梳齿对数.
| 图表编号 | XD00157612000 严禁用于非法目的 |
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| 绘制时间 | 2020.07.01 |
| 作者 | 程进、周顺、孙雪平、蒲欣欣、孙其梁、徐英舜、刘卫国 |
| 绘制单位 | 西安工业大学光电信息工程学院、西安工业大学光电信息工程学院、西安工业大学光电信息工程学院、西安工业大学光电信息工程学院、无锡微视传感科技有限公司、天津医科大学生物医学工程与技术学院、西安工业大学光电信息工程学院 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
