《表1 激光测头参数：ICF靶丸表面形貌及球度误差检测》

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《ICF靶丸表面形貌及球度误差检测》

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实验装置通过测量标准球的一条最大外圆圆弧，考查不同圆心角所对应圆弧上的点偏离理想圆弧的程度。首先，通过测量标准球在两个垂直方向上的两条圆弧，采用二次曲线拟合求极值点的方法得到标准球的最高点坐标。然后，激光测头过该最高点，实现对最大外圆圆弧的测量。实验所用标准钢球来自英国Renishaw公司，其球度误差小于0.05μm。激光测头参数见表1。