《表1 传统测量仪与μm级激光形貌测量系统的测量参数对比》

《表1 传统测量仪与μm级激光形貌测量系统的测量参数对比》   提示:宽带有限、当前游客访问压缩模式
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《μm级形貌测量系统——一种新型的断层面微观形貌测量技术》


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在实验摩擦断层面研究中,目前常用的形貌测量仪器主要有接触式探针轮廓仪(1)、白光干涉法测量仪(2)等,它们与本研究中提出的测量系统的主要优、劣势对比如表1所示。