《表3 三种系统的测量误差对比结果(单位/μm)》

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《相位光栅干涉传感在位移测量中的应用研究》

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为了分析本文系统的测量误差，采用本文系统、图像类绝对码位移测量系统、激光回馈位移测量系统进行对比实验。设定10次位移测量实验，采用三种系统在相同的实验环境中进行测量，将测量任务分成静态测量与动态测量，静态测量即测量目标位移后的测量，动态测量即为目标正在位移运行时的测量。分析三种系统的测量误差并进行对比，三种系统的测量误差对比结果如表3所示。