《表1 器件表面粗糙度测量结果单位：μm》

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《基于光学干涉法的翻新电子元器件鉴别方法》

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选择1只翻新器件（编号为r7），测量其上表面和下表面的粗糙度，已知该器件上表面经过打磨和喷涂处理。图3为测量的器件上表面和下表面三维图像，可以看出，器件上表面和下表面的粗糙度轮廓明显存在差异，其中下表面粗糙度轮廓纵坐标在-4～+4μm之间，而上表面粗糙度轮廓纵坐标在-10～+20μm之间，这说明上表面比下表面粗糙。图4为测量的器件上表面和下表面二维轮廓曲线。通过曲线可以提取出Rq，Rv，Rz，Rc等多个反映器件表面粗糙度的参数值，如表1所示。其中算术平均值Ra和均方根值Rq能更好地反映粗糙度的整体水平，Ra和Rq的值越大，说明器件表面越粗糙。通过测量的Ra值和Rq值可以看出，器件上表面粗糙度明显大于表面粗糙度，结果与三维图像中反映的现象一致。