《表1 精准度分析/μm:金属表面粗糙度的激光非接触检测系统》

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《金属表面粗糙度的激光非接触检测系统》


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系统检测金属表面粗糙度的检测性能主要从系统检测精准度、检测时间和能耗角度考虑,首先对比分析本文系统检测不同类型金属表面粗糙度结果和金属表面粗糙度实际结果,研究本文系统检测金属表面粗糙度精准度,研究结果如表1所示。从表1中可以看出,采用系统所获取轮廓图后,通过系统轮廓图可得到金属表面轮廓最大高度、轮廓偏斜率和轮廓单元平均宽度等指标,对比系统轮廓图得到的金属表面轮廓最大高度、轮廓偏斜率和轮廓单元平均宽度和实际金属表面轮廓最大高度、轮廓偏斜率和轮廓单元平均宽度发现两者之间指标相差较小,相差数值均小于0.1μm,系统检测金属粗糙度的检测结果和实际结果相差较小,相差范围不超过0.1μm,即本文系统检测金属表面粗糙度检测精准度较高。