《表1 三种传感结构湿度特性线性拟合结果》

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《纳米氧化铜尺寸效应对其湿度传感特性的影响》

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为了研究CuO纳米片尺寸对湿度传感性能的影响，对3个传感结构的传感特性进行比较分析。表1列出3种传感结构湿度特性线性拟合结果，这里定义线性拟合直线的斜率的绝对值为传感结构灵敏度。从表1中可以看到传感结构a，b，c的湿度特性灵敏度分别约为0.436，0.665和0.891 kΩ/RH%，取其绝对值，发现传感结构a，b，c灵敏度依次增大，而其所用敏感材料样品1，2，3的尺寸依次减小。不难看出，CuO纳米片的尺寸越小，以其为敏感元件的传感结构湿度传感灵敏度越高。