《表2 4种传感结构传感器在不同湿度环境下的灵敏度》

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《Sn掺杂ZnO纳米结构湿度传感器的制备与特性》

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在相对湿度为11.3%和97.3%的环境下，分别对4种传感结构的阻抗进行了多次重复测试。图8是室温条件下不同湿度环境中4种传感结构的响应与恢复瞬态阻抗变化测试结果。当传感结构从低湿环境切换到高湿环境，达到总阻抗变化量的90%所用的时间定义为响应时间；当传感器从高湿环境切换到低湿环境，达到总阻抗变化量的90%所用的时间定义为恢复时间。4种传感结构的响应时间分别为4 s、2 s、2 s和2 s，恢复时间均为2 s，可知4种传感结构响应与恢复特性都较好，且Sn掺杂ZnO比纯ZnO的响应时间更短。此外，4种不同Sn掺杂量的ZnO纳米材料都进行了三组重复实验，相关的实验结果都具有较好的重复性，误差很小。