《表1 不同传感结构配置的相位差（Δφd）和相位灵敏度》

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《用于生物传感的相位调制的铝膜-石墨烯结构》

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已有研究结果表明，单层石墨烯在制备过程中容易出现结构缺陷，如厚度不均、晶界等[28].因此，根据关于石墨烯抗腐蚀能力的研究，相较于单层石墨烯，5层石墨烯的抗腐蚀能力更佳.故选取29 nm铝/5层石墨烯复合结构为所提模型的最佳配置.但是，在超薄铝膜的工艺制备中理论仿真与实际制备存在一定的误差[10].为了确保最佳传感配置在工艺误差中也能够保持超高的探测灵敏度。将铝膜厚度误差设定在±2 nm范围内，并进行模拟计算.如表1所示，在可控铝膜偏差范围内，可以通过改变石墨烯层数调控最佳传感配置的相位检测灵敏度，使其保持在104 o/RIU范围内.