《表2 跟踪控制误差：压电陶瓷作动器的率相关迟滞建模与内模控制》

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《压电陶瓷作动器的率相关迟滞建模与内模控制》

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基于第3节设计的内模控制器，选择滤波器F（）·的N=1，在线整定得到αF=0.03。实时跟踪幅值为20μm，1～100Hz内的单频率信号和复合频率信号。图8为不同单频率及复合频率（10/30/50/70/90Hz和10/20/…/100 Hz）时的参考输入和作动器的实际输出曲线。表2为参考输入与作动器实际输出之间的RMSE和RE。