《表1 双层纤毛结构尺寸：锥形纤毛式MEMS矢量水听器的设计》

  提示：宽带有限、当前游客访问压缩模式

本系列图表出处文件名：随高清版一同展现

《锥形纤毛式MEMS矢量水听器的设计》

1. 获取 高清版本忘记账户？点击这里登录

1. 下载图表忘记账户？点击这里登录

锥形纤毛的设计是基于双层纤毛的尺寸，其结构如图9所示，在同等纤毛质量的前提下，双层纤毛结构能够有效提高水听器的灵敏度，这就保证了增强水听器性能的同时，在机械振动上不增加十字梁的负荷，所以本文锥形纤毛的尺寸选择基于等质量双层纤毛结构尺寸[5]。尺寸参数如表1所示。锥形纤毛式结构的设计思路是连接上纤毛和下纤毛横截面圆的外沿，构成一个圆台状的纤毛形状，这种一体的结构能够有效避免二次集成带来的误差。锥形结构的设计思路主要是保证最上端截面半径、最下端截面半径和整体纤毛高度相同的前提下，对比锥形纤毛和双层纤毛在灵敏度和固有频率上的差异，以此来验证锥形纤毛简化二次集成的同时对灵敏度和工作带宽的影响。由于纤毛材料相同，通过计算可得锥形微结构的质量比双层纤毛结构的小15%，可以有效减小十字梁的负荷，增强环境适应能力。