《表1 一体化制备的硅纤毛和二氧化硅梁的结构参数》

  提示：宽带有限、当前游客访问压缩模式

本系列图表出处文件名：随高清版一同展现

《一种微纳跨尺度一体化的MEMS矢量水听器》

1. 获取 高清版本忘记账户？点击这里登录

1. 下载图表忘记账户？点击这里登录

对于一体化水听器的设计既要考虑加工难度，又要考虑水听器的灵敏度与特征频率范围是否满足使用条件。根据式（2）可知，要想提高电压灵敏度首先可以提高水听器纤毛在受到同等力下的梁上最大应力，但通过式（4）和式（5）可知，提高应力会使特征频率下降，为此在考虑加工难度的前提下，初步确定了硅纤毛和二氧化硅梁的结构参数，如表1所示。在此参数下对一体化水听器进行了湿模态和应力仿真分析，图2为水听器湿模态分析模型，球体材料设置为海水，水听器微结构材料属性如表2所示。