《表3 通孔电阻大小:CMUT面阵制备中的硅通孔金属互连工艺设计》
当两个表笔接触阻值为0.053Ω时,测试结果如表3所示,结果表明通孔为150μm时通孔间电阻大约在0.6~0.9Ω。
图表编号 | XD00212670200 严禁用于非法目的 |
---|---|
绘制时间 | 2021.02.01 |
作者 | 王月、何常德、张文栋 |
绘制单位 | 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室、中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室、中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室 |
更多格式 | 高清、无水印(增值服务) |
当两个表笔接触阻值为0.053Ω时,测试结果如表3所示,结果表明通孔为150μm时通孔间电阻大约在0.6~0.9Ω。
图表编号 | XD00212670200 严禁用于非法目的 |
---|---|
绘制时间 | 2021.02.01 |
作者 | 王月、何常德、张文栋 |
绘制单位 | 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室、中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室、中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室 |
更多格式 | 高清、无水印(增值服务) |