《表1 不同电压下十字梁结构膜片仿真结果》

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《一种小型电压传感膜片的设计与仿真》

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通过对十字梁的仿真研究，得出了表1所示的十字梁结构膜片仿真结果，可以看出在相同厚度下，应变随电压增大而增大，且呈现非线性增长的情况，这种情况与式（2）所示结果一致。在相同电压作用下，厚度越大的膜片应变越小，这种情况与式（3）所示结果一致。