《表1 线性测试：一种微小型磁矢量传感器设计》

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《一种微小型磁矢量传感器设计》

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对设计的磁敏感样品进行了灵敏度和线性度测试。在±1Gauss的范围内，测试了5个测试点，并计算了其线性度为0.1%，如表1所示。在0.5Gauss点连续测试10min，每分钟采样20次数据对数据进行FFT变换，得到（纵坐标，nT/Hz1/2）相对频率（横坐标，Hz）的噪声谱密度分布，计算1Hz频点下的传感器灵敏度优于0.1nT/Hz1/2（即100pT/Hz1/2），如图4所示。