《表3 描述性统计：基于代理模型的MEMS结构可靠性仿真程序框架》

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《基于代理模型的MEMS结构可靠性仿真程序框架》

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基于Kriging近似模型的可靠度和灵敏度结果，如表3、4所示。不用近似模型时，用Monte Carlo进行可靠性分析（样本次数106），所需时间约为100 d，采用重要抽样法[32]进行分析（不采用近似模型）并验证结果的正确性。