《表4 判定分析表：基于代理模型的MEMS结构可靠性仿真程序框架》

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《基于代理模型的MEMS结构可靠性仿真程序框架》

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由表3的可靠度结果可以看出，给定设计方案下闭锁机构可靠度不满足MEMS安全保险装置0.99的可靠度要求。由表4可看出，材料强度s对可靠度结果影响最大。提高可靠度最直接的方法是降低其标准差。图7为s不同标准差对应的可靠度结果。可以看出，当标准差小于49 MPa时，可满足可靠度要求。