《表1 MEMS器件与IC器件对比》
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尽管MEMS技术是在IC技术的基础上发展起来的，沿用了许多IC制造工艺，但MEMS技术与IC技术也存在差异，表1总结了这两个技术领域的相似和不同。
| 图表编号 | XD00188032700 严禁用于非法目的 |
|---|---|
| 绘制时间 | 2020.10.15 |
| 作者 | 许艳君、闫玉波、李智 |
| 绘制单位 | 北京振兴计量测试研究所 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
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