《表4 试验批投产情况：MEMS光开关的金丝球焊工艺研究开发及应用》

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《MEMS光开关的金丝球焊工艺研究开发及应用》

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采用以上确认的键合参数推荐值进行产品的生产验证。共生产4批产品，分别为2209#W0202批、W0303批，2216#W0505批和290#W0202批。各批产品生产情况见表4。