《表3 键合参数变量列表:MEMS光开关的金丝球焊工艺研究开发及应用》
具体参数优化调整变量及步骤如表3所示。验证压力、功率、时间在不同的匹配参数下,其键合拉力的分布情况。
图表编号 | XD00131862900 严禁用于非法目的 |
---|---|
绘制时间 | 2020.04.15 |
作者 | 张策、李兆仁 |
绘制单位 | 中国电子科技集团公司第三十四研究所、中国电子科技集团公司第三十四研究所 |
更多格式 | 高清、无水印(增值服务) |
具体参数优化调整变量及步骤如表3所示。验证压力、功率、时间在不同的匹配参数下,其键合拉力的分布情况。
图表编号 | XD00131862900 严禁用于非法目的 |
---|---|
绘制时间 | 2020.04.15 |
作者 | 张策、李兆仁 |
绘制单位 | 中国电子科技集团公司第三十四研究所、中国电子科技集团公司第三十四研究所 |
更多格式 | 高清、无水印(增值服务) |