《表3 键合参数变量列表:MEMS光开关的金丝球焊工艺研究开发及应用》

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《MEMS光开关的金丝球焊工艺研究开发及应用》


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具体参数优化调整变量及步骤如表3所示。验证压力、功率、时间在不同的匹配参数下,其键合拉力的分布情况。