《表1 不同薄膜的元素成分》

《表1 不同薄膜的元素成分》   提示:宽带有限、当前游客访问压缩模式
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《"关于(Ti,Cr)N膜摩擦学性能的研究"》


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为了明确薄膜的成分,在薄膜表面分别选择3份无液滴区和4个有液滴的区域进行X射线能谱分析(EDS),对比和研究微区元素成分,如表1所示。