《表3 不同薄膜的耐磨性测试结果》

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《"关于(Ti,Cr)N膜摩擦学性能的研究"》

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图3为不同薄膜摩擦试验后的表面微观形貌，磨痕的微区成分测试结果列于表2。图4和图5分别为摩擦系数曲线和磨痕深度曲线。基体和各薄膜的微观硬度、磨痕宽度、深度测试数据及磨损率计算结果列于表3。