《表3 用纳米压痕法测试不同氮氩气下制成的薄膜的压痕测试结果》

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《氮氩比对大功率脉冲磁控溅镀(AlCrNbSiTiV)N薄膜性能的影响》

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在不同薄膜上施加相同的10 mN压力，观察压痕的情况，实验结果和计算结果见图4和表3。当氮氩比从0%增大到20%，硬度和弹性模量都呈上升的趋势。计算出的Re均大于76.87%，表明（AlCrNbSiTiV）N薄膜具有非常好的弹性恢复性能。根据文献[2]对高熵合金涂层的综述，AlCrNiSiTi、FeCoNiCuVZrAl、Alx CoCrCuFeNi、（AlCrTaTiZr）N等众多材料的H/E小于0.105，H3/E2小于0.386。本实验所得薄膜的H/E可达0.161，H3/E2更高达1.015，表明（AlCrNbSiTiV）N薄膜具有很好的耐磨性和抵抗塑性变形的能力[2，14-15]。