《表2 TiCrSiCN薄膜的元素成分》

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《多弧离子镀TiCrSiCN硬质薄膜的微观结构与摩擦学性能》

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由图1和图2可看出所制薄膜颗粒细小，截面致密，其平均沉积速率约为4μm/h，没有明显的柱状晶存在。对比表2所示的TiCrSiCN-1和TiCrSiCN-3薄膜的成分可知，C含量随CH4流量增加而增大，Si含量随TiSi靶材弧电流降低而降低，Cr含量随Cr靶材电流增大而增加。