《表2 Crx C1x薄膜的化学成分》

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《PEMFC不锈钢双极板表面改性用Cr-C薄膜的成分设计与制备》

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图4为6组实验制备CrxC1?x薄膜的XPS图谱，峰位及峰强不同表明薄膜的化学成分互不相同，具体的成分如表2所示。由表可见，随着弧流比IC/ICr的变化，6组CrxC1?x薄膜的成分也随之变化，而且x在0.05～0.23之间，变化范围较大。其中，在考虑测量误差等因素后，6#薄膜的成分（Cr0.23C0.77）与设计推导所得的理想团簇式[Cr-C4]CrC3的成分（Cr0.22C0.78）可以认为基本一致。而由于设备极限等问题，最终未能得到Cr0.40C0.60成分的薄膜。