《表1 不同溅射靶材对应的Ti-Nb合金薄膜成分》

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《Nb含量对Ti-Nb合金薄膜微观形貌与力学性能的影响》

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采用Zeiss场发射扫描电子显微镜Sigma 500对薄膜表面微观形貌进行表征，并利用扫描电子显微镜配备的能谱仪（EDS）对不同Nb含量的Ti-Nb合金薄膜进行成分表征，对应的薄膜成分见表1.采用Bruker D8 X-ray衍射仪进行薄膜掠入射（GIXRD）测试，入射角设置为1°，衍射角2ω起始角为30°，终止角为90°，步长为0.02°，X射线波长为1.54 nm，扫描速度为6°/min，管流管压分别为100 mA和40 kV.采用JEM-2010F发射透射电子显微镜表征薄膜截面的微观形貌.采用Hysitron TI-950纳米压痕实验仪进行力学性能表征.