《表1 晶圆扫正功能对比》

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《自动检测系统中图像对准方法研究》

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我们选用了一些不同规格尺寸的晶圆片，使用基于灰度匹配的图像对准方法以及基于几何匹配的图像对准方法对其进行图像对准（先将待测片进行扫正，再自动寻找一次首测点），记录两种方法所耗费的时间以及图像对准中出错的次数。其晶圆扫正功能所得数据参考表1，自动寻找首测点功能相关数据参考表2。