《表1 华力微电子65 nm NOR Flash晶圆的长期表现》

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《非易失闪存中堆叠电容的精度控制研究与改善》

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与光学厚度不同，ONO电性厚度几乎可以完全反映ONO实际光学厚度，其Sigma值约为1.2，如表1所示，而ONO电性厚度的安全窗口为（-1，1），需要花费大量时间和精力确保每一层薄膜工艺控片厚度稳定来确保薄膜工艺稳定.