《表4 晶圆自动传输检测结果》

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《基于DSP晶圆传输平台自动识别算法的研究》

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根据表2和表3确定晶圆所在的大致区间。若落在单片区间则将当前采样值分别减去各槽单片下表面码盘值的差值的绝对值这里用A表示，偏角码盘值和相对移动偏差值这里用B表示，B=BiasEncoder/2确定晶圆是叠片状态还是单片状态，若A>B则是叠片，若A