《表1 仿真分析结果对比:基于位姿调整的晶圆传输机器人轨迹规划》

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《基于位姿调整的晶圆传输机器人轨迹规划》


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利用上节中的计算结果和加速度函数方程,在MATLAB中编程,得到仿真结果,如表1所示,得到直线运动部分的加速度、速度、位移曲线如图4所示。