《表1 单片晶圆脉冲检测理论数据表》

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《晶圆传输过程中自动扫描算法的实现》

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在检测过程中，根据电机运行速度，片盒内槽间距以及晶圆的厚度，从最下面的一片开始检测，脉冲数从检测到第一片开始计算，我们得出25片晶圆（半导体标准片盒为25片）的检测理论数据如表1所示。