《表2 50μm晶圆TTV测量数据表》

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《非接触测量仪在减薄设备中的应用研究》

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μm

减薄机TTV值在线检测点设定如图6所示，一般选择5点平均分布在晶圆中心到边缘的弧线上，操作界面显示5点的在线测量厚度，并写入存储到控制系统，经过设定程序计算，判定是否满足要求，若未达到指标要求，按照计算数值自动修正设备参数。表1为20片100μm晶圆非接触测量仪的测量数据，表2为20片/50μm晶圆非接触测量仪的测量数据。用户一般采用5点测量法或者9点测量法，用户现场5点测量如图7所示。图8为100μm晶圆5点测量法的用户现场测量数据，图9为50μm晶圆5点测量法的用户现场测量数据。通过TTV值比较，非接触测量仪在线测量结果与用户现场测量结果基本吻合。