《表3 晶片有无检测结果数据分析表》

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《晶圆传输过程中自动扫描算法的实现》

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用相邻的两组数据相减，得出的间隔数除以1 000，取整，从第一个卡槽开始计算，按1 000的倍数确定晶圆所在位置，若为1，则相邻的卡槽内均有晶圆，若为2或3，则相隔1或2才存在晶圆，分析结果如见表3。