《表1 材料参数:晶片传输机械臂的设计及有限元分析》

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《晶片传输机械臂的设计及有限元分析》


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首先分析无载荷作用时,用有限元方法计算机械臂在重力作用下的应力和变形情况。依据机械臂无载荷的实际受力情况,采取机械臂一端固定的方式来进行有限元静态分析。机械臂上相关零件的材料参数见表1。机械臂在重力作用下的应力云图和变形云图如图3所示。