《表2 表面粗糙度数据：锗晶片磨削用砂轮研究》
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图2是通过白光干涉仪测试形成的锗单晶表面3D形貌图。从图2可以看出，砂轮1磨削的锗片表面粗糙度最大，试验砂轮1次之，试验砂轮2最好。
| 图表编号 | XD00116175700 严禁用于非法目的 |
|---|---|
| 绘制时间 | 2019.12.20 |
| 作者 | 冯奎、王云彪、杨玉梅 |
| 绘制单位 | 中国电子科技集团公司第四十六研究所、中国电子科技集团公司第四十六研究所、中国电子科技集团公司第四十六研究所 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
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