《表1 磨削参数：锗晶片磨削用砂轮研究》

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《锗晶片磨削用砂轮研究》

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试验用锗片是P型（100）锗单晶研磨片，电阻率为0.005～0.02Ω·cm，直径为（100±0.25)mm，厚度为（260±10）μm。磨削设备采用DAG810，磨削加工示意如图1所示。磨削砂轮为适用于硅片的#4000砂轮1、为锗片开发的#4000试验砂轮1和#4000试验砂轮2。试验时分别使用3个砂轮按照表1中的磨削参数进行磨削，每个砂轮试验后选取3片锗片进行腐蚀，分别测出腐蚀后锗晶片表面中心和边缘的表面粗糙度数据。