《表1 示教模式下确定片盒内各槽的单片基值》
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示教模式下，根据K1槽和K25槽单片上表面码盘值和下表面码盘值，推算出晶圆各槽单片基值如表1所示。
| 图表编号 | XD0079825700 严禁用于非法目的 |
|---|---|
| 绘制时间 | 2019.05.20 |
| 作者 | 李崇、栾显晔、陈廷辉、宋宇宁 |
| 绘制单位 | 沈阳新松机器人自动化股份有限公司、沈阳新松机器人自动化股份有限公司、沈阳新松机器人自动化股份有限公司、沈阳新松机器人自动化股份有限公司 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
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