《表1 不同浓度抛光液处理后的晶圆粗糙度》

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《抛光参数对超薄晶圆表面抛光效果影响的研究》

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使用粗糙度测量仪测量不同浓度抛光液处理过的晶圆，粗糙度具体如表1所示。粗糙度不同的主要原因是抛光液颗粒度大小不同，造成晶圆表面去除损伤层速率不同。从表1中可以看出，浓度越高，去除损伤层速率越快，抛光效果越彻底，但浓度过高会使晶圆表面残留多余抛光液，反而影响表面粗糙度。