《表3 超薄晶圆适宜的抛光工艺条件》

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《抛光参数对超薄晶圆表面抛光效果影响的研究》

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在抛光过程中，机械参数和化学参数都会直接影响到抛光过程中晶圆的粗糙度，要实现高效率和高质量的抛光，必须使化学作用与机械作用达到良好地匹配效果。如果化学腐蚀作用大于机械磨削作用，则在抛光表面产生腐蚀坑和橘皮现象；如果机械磨削作用大于化学腐蚀作用，则无法完全去除磨纹损伤层，还会在抛光表面产生新的损伤层和划道。经过多次实验确定超薄晶圆适宜的抛光工艺条件如表3所示。