《表2 不同抛光压力处理后晶圆的粗糙度》

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《抛光参数对超薄晶圆表面抛光效果影响的研究》

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使用粗糙度测量仪测量不同压力抛光后的晶圆，汇总20片晶圆的粗糙度，结果如表2所示。从表2可以看出，通过增大抛光压力，可以提高晶圆表面平整度，很好地去除晶圆表面的损伤层。但当抛光压力过大时，晶圆表面光洁度会变差，容易产生新的划伤，而且抛光过程中容易碎片。因此确定适宜的抛光压力对晶圆加工至关重要。