《表4 不同主轴转速研磨后晶圆加工面微裂纹深度》
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本实验共3组，每组取3种转速下机械磨削后的晶圆同一部位的条状样品制样喷金后通过电镜测量其内部微裂纹深度，测量数据见表4。
| 图表编号 | XD0016615300 严禁用于非法目的 |
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| 绘制时间 | 2018.10.20 |
| 作者 | 冯小成、李峰、李洪剑、荆林晓、贺晋春、井立鹏 |
| 绘制单位 | 北京时代民芯科技有限公司、北京时代民芯科技有限公司、北京时代民芯科技有限公司、北京时代民芯科技有限公司、北京时代民芯科技有限公司、北京时代民芯科技有限公司 |
| 更多格式 | 高清、无水印（增值服务） |
