《表4 不同主轴转速划片质量测试结果》

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《LTCC基板砂轮划片质量影响因素研究》

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在LTCC基板划片过程中，刀片种类直接影响主轴转速的设定，不同的刀片能承受的主轴转速不同，树脂砂轮刀片的主轴转速不超过35 000 r/min；此外主轴转速还与加工产品的厚度及给进速度有关。采取厚度为300μm、金刚石颗粒度为45μm的树脂砂轮刀片，在给进速度为1 mm/s的条件下，对厚度为1.4 mm的LTCC基板在不同主轴转速下的划片质量进行测试，结果见表4。