《表3 不同180°剥离力一次划片试验结果》

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《LTCC基板砂轮划片质量影响因素研究》

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采用厚度为300μm、金刚石颗粒度为45μm的树脂刀片，以主轴转速为25 000 r/min、给进速度为4 mm/s的特定划片工艺，对厚度为1.4 mm，尺寸为43.8 mm×26 mm的某种型号的LTCC基板进行一次划片试验，测试基材厚度为150μm，粘结剂厚度为25μm，180°剥离力为14.9 N/25 mm，20.2 N/25 mm及23 N/25 mm时3种UV膜对崩边效果的影响，结果见表3。