《表1 不同金刚石颗粒度的一次划切效果》

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《LTCC基板砂轮划片质量影响因素研究》

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（μm）

在给进速度为1 mm/s、主轴转速为18 000 r/min的相同切割参数条件下，使用金刚石颗粒度为25μm，35μm，45μm，53μm的树脂刀片对厚度为1.4 mm的LTCC基板进行尺寸为43.8 mm×26 mm的一次划片试验，结果见表1。