《表5 不同给进速度划片质量测试结果》

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《LTCC基板砂轮划片质量影响因素研究》

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LTCC基板划片工艺中，给进速度关系到刀片的使用寿命、划片质量和效率。给进速度要根据主轴转速、划片深度以及材料特性进行设定。采用厚度为300μm、金刚石颗粒度大小为45μm的树脂砂轮刀片，设定主轴转速为25 000 r/min，对厚度为1.4 mm的LTCC基板在不同给进速度条件下进行划片质量测试，结果见表5。