《表3 不同主轴转速试验的工艺条件表》

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《晶圆减薄表面损伤层对断裂强度影响的研究》

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本文选用1000 r/min、3500 r/min、7000 r/min的主轴转速，在磨轮选型、进给速度等工艺条件相同的情况下将8英寸晶圆减薄到470μm，表3为本实验工艺条件，图8~10为3种转速下机械磨削后加工面损伤层状态。