《表1 机械磨削工艺条件表》

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《晶圆减薄表面损伤层对断裂强度影响的研究》

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本文采用320目、2000目、6000目磨轮（目数表征磨轮表面金刚石颗粒大小）、干式抛光磨轮在主轴转速、进给速度等工艺条件相同的情况下将8英寸晶圆减薄到470μm，表1为本实验工艺条件，图4~7为使用320目、2000目、6000目磨轮、干式抛光轮机械磨削后的加工面损伤层状态。